آخرین بروز رسانی : 19-04-1405
گیج وکیوم WRG-S Edwards چیست؟
گیج وکیوم WRG-S ساخت شرکت Edwards، یک گیج فول رنج (Wide Range Gauge) است که برای اندازهگیری فشار در سیستمهای وکیوم (خلأ) از فشار اتمسفر تا وکیوم بسیار بالا طراحی شده است. این گیج با ترکیب دو فناوری پیرانی (Pirani) و کاتد سرد (Cold Cathode)، امکان اندازهگیری پیوسته فشار را در محدوده 1000 تا 10⁻⁹ mbar فراهم میکند.
به دلیل دقت بالا، قابلیت اطمینان مناسب و طراحی صنعتی، گیج وکیوم WRG-S یکی از پرکاربردترین گیجهای اندازهگیری فشار در سیستمهای پمپ توربومولکولی، تجهیزات پوششدهی، صنایع نیمههادی، آزمایشگاههای تحقیقاتی و سایر سیستمهای وکیوم است. این مدل با پارت نامبر D14701000 دارای اتصال NW25KF بوده و بهراحتی در بسیاری از تجهیزات وکیوم قابل نصب است.
نحوه عملکرد گیج وکیوم WRG-S Edwards
گیج وکیوم WRG-S از فناوری Wide Range Gauge بهره میبرد که در آن دو روش مستقل اندازهگیری فشار در یک بدنه ترکیب شدهاند. این طراحی باعث میشود گیج بتواند بدون نیاز به تعویض سنسور، کل محدوده فشار را با دقت مناسب اندازهگیری کند.
این گیج از دو سنسور داخلی تشکیل شده است که هر کدام در محدوده مشخصی از فشار بهترین عملکرد را دارند.
سنسور پیرانی (Pirani Gauge)
سنسور پیرانی وظیفه اندازهگیری فشار از فشار اتمسفر تا حدود 10⁻² mbar را بر عهده دارد. عملکرد این سنسور بر اساس هدایت حرارتی گاز است.
در داخل گیج یک فیلامان بسیار نازک قرار دارد که توسط جریان الکتریکی گرم میشود. هرچه فشار گاز بیشتر باشد، تعداد مولکولهای اطراف فیلامان افزایش یافته و گرمای بیشتری از آن جذب میشود. با کاهش فشار، انتقال حرارت کاهش یافته و دمای فیلامان افزایش پیدا میکند.
الکترونیک داخلی گیج، تغییرات مقاومت الکتریکی فیلامان را اندازهگیری کرده و بر اساس آن مقدار فشار را محاسبه میکند. این روش برای محدوده فشارهای بالا و متوسط، دقت و سرعت پاسخ مناسبی دارد.
سنسور کاتد سرد (Cold Cathode Gauge)
در فشارهای کمتر از حدود 10⁻² mbar، سنسور کاتد سرد وارد مدار میشود. این سنسور بر پایه فناوری Inverted Magnetron کار میکند و قادر است فشار را تا حدود 10⁻⁹ mbar اندازهگیری کند.
در این روش، با استفاده از میدان الکتریکی و میدان مغناطیسی، مولکولهای گاز یونیزه شده و جریان یون ایجاد میشود. مقدار این جریان با فشار داخل محفظه متناسب بوده و برای اندازهگیری وکیوم بالا و فوقالعاده بالا مورد استفاده قرار میگیرد.
از آنجا که این سنسور فاقد فیلامان گرمشونده است، در برابر ورود ناگهانی هوا مقاومت بیشتری داشته و خطر سوختن فیلامان یا ایجاد آلودگی ناشی از تبخیر آن وجود ندارد.
سوئیچ خودکار بین دو سنسور
یکی از مهمترین ویژگیهای گیج WRG-S، سوئیچ خودکار بین سنسور پیرانی و کاتد سرد است. مدار الکترونیکی داخلی، بهصورت پیوسته شرایط فشار را بررسی کرده و در هر محدوده، از سنسوری استفاده میکند که بیشترین دقت را دارد.
به همین دلیل، کاربر تنها یک خروجی پیوسته و بدون وقفه دریافت میکند و نیازی به استفاده از دو گیج مجزا برای اندازهگیری فشارهای مختلف نخواهد داشت.
ویژگیهای گیج وکیوم WRG-S Edwards
* اندازهگیری فشار از 1000 تا 10⁻⁹ mbar
* ترکیب فناوری پیرانی و کاتد سرد در یک گیج
* سوئیچ خودکار بین دو سنسور
* خروجی آنالوگ 0 تا 10 ولت
* قابلیت کالیبراسیون آسان
* طراحی مقاوم و مناسب برای استفاده صنعتی
* اتصال استاندارد NW25KF
کاربردهای گیج وکیوم WRG-S Edwards
* سیستمهای پمپ توربومولکولی
* تجهیزات پوششدهی (PVD و CVD)
* صنایع نیمههادی
* دستگاههای آنالیز سطح
* تجهیزات تحقیقاتی و آزمایشگاهی
* سیستمهای وکیوم صنعتی
* تجهیزات تولید و فرآوری مواد پیشرفته
مزایای گیج وکیوم WRG-S Edwards
* پوشش کامل محدوده فشار تنها با یک گیج
* دقت و پایداری مناسب در محدوده وسیع فشار
* کاهش هزینه نصب و نگهداری نسبت به استفاده از دو گیج مجزا
* مقاومت بالا در برابر شرایط صنعتی
* قابلیت اطمینان بالا و عمر کاری طولانی
* نصب آسان و سازگاری با بسیاری از سیستمهای وکیوم
